10級クリーンルームとは何ですか。
10級クリーンルームとは、一定の空間範囲内の空気中の微粒子、有害空気、有害菌群などの汚染物を排除し、室内温度、湿度、清浄度、室内圧力、気流速度と気流分布、騒音振動と照明、静電をある需要範囲内に制御することであり、外部環境条件がどのように変化しても、クリーンルーム内は設定に要求された清浄度、温湿度と圧力などの性能を維持することができる。
半導体10段クリーンプラント
10級のクリーンルームは主に帯域幅が2ミクロン未満の半導体工業に使用され、FFU満布を採用し、超高効率エアフィルタを利用し、床は高架床で作られている。
10級クリーン工場工事高架床工事
